碳化硅硬度仅次于金刚石、立方氮化硼和碳化硼的高硬度陶瓷材料。由于其具有较高的耐磨性和相对较低的成本,碳化硅在诸多应用中作为散粒或固着磨料材料使用。在CMP(化学机械抛光)行业中,随着半导体工业发展,电子器件尺寸缩小,要求晶片表面平整度达到纳米级,传统的平坦化方案只能满足局部平坦化,只有通过CMP技术进行整体抛光。而海特HT-C系列产品是针对化学机械抛光行业量身打造,成为品质优良的磨料。
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